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硅片清洗的幾種方法 20 世紀70 年代以前,清洗半導(dǎo)體材料所用的方法仍是較為傳統(tǒng)的方法,主要為機械法和化學(xué)法。機械法采用在清洗劑中進行超聲或刷子刷洗。前一種方法常引起硅片
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